嚴格來說，VPSA（低壓吸附真空解吸）制氧是PSA制氧的另一種“變體”，他們的制氧原理幾乎一致，都是利用分子篩對不同氣體分子“吸附”能力將氣體混合物分離開來，但PSA制氧的是通過加壓吸附，常壓解吸來分離出氧氣，VPSA制氧則是在真空條件下對吸附飽和的分子篩進行解吸。

雖然，二者都是以空氣為原料，制氧原理也大同小異。但仔細對比而言，還是有以下區(qū)別；

1、VPSA制氧機是用鼓風機來獲取原料空氣并增壓，而PSA制氧機是使用空壓機來進行供氣。

2、在核心組成部分——沸石分子篩的選擇上，PSA制氧機使用的是鈉分子篩，VPSA制氧機使用的是鋰分子篩。

3、PSA制氧機的吸附壓力通常有0.6~0.8Mpa，VPSA制氧機的吸附壓力是0.05Mpa。

4、PSA單機產(chǎn)氣量可以達到200~300Nm3/h，VPSA單機產(chǎn)氣量可以達到7500~9000Nm3/h。

5、VPSA相對于PSA而言，能耗低（生產(chǎn)每方氧氣的電耗≤0.5 kW），更加環(huán)保，綠色。

VPSA制氧機雖然單機制氧量大，但其不足之處在于系統(tǒng)設備相對復雜，設備體積也較大（比深冷裝置還是要小一些），配套共用工程條件要求較多，會占用較大空間，且無法做成集裝箱形式制氧設備，需要現(xiàn)場安裝、調(diào)試；單從這一點上，PSA還是具有一定優(yōu)勢的。